宇电AI-7x68D71多路控制仪表在半导体设备产品应用

半导体行业需要控温精准高可靠高稳定，宇电高性能仪表解决复杂串级控制问题，可应用在半导体行业的扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD炉等设备，提升生产效率及产品良率。
AI-7xx8 系列多路测试及控制仪表可提供6 路各种类型热电偶或二线制热电阻输入，也可提供四路三线制热电阻输
入；SSR 固态继电器电压输出；即可以独立使用，也可以与计算机或可编程控制器PLC 联机使用。本仪表可任选
24VDC 或100~240VAC 电源电压，通过ISO9001 质量认证，可靠性高且符合EMC 电磁兼容标准；其电源及全部I/O 端
子均通过了6KV 的群脉冲（EFT）抗干扰测试，能在强干扰环境下可靠工作，应用了宇电公司新一代技术，使多路输入
达到与单路测量相当的精度与抗干扰能力。仪表主要功能如下：
● *多可支持6 路可编程测量输入回路，支持PT100、Cu50 及K、S、E、J、B、N、T、WRe5-WRe26 等多种规格输
入，热电偶自动冷端补偿。输入数字校正，各输入回路均具备数字滤波，且滤波强度可以独立调整或取消滤波。
● 使用高性能的元器件，大大降低温度漂移并使得各个通道之间相互干扰降低，使多路测量在精度及抗干扰性能上也达
到了与单路测量仪表相当的水准。
● 仪表每个回路可独立设置上、下限或偏差报警输出功能，并且其报警输出位置（AL1 或AL2）可以通过编程指定。不
同输入回路的上限或下限报警信号既可编程为从同一报警通道输出，也可从不同的通道输出。
● 具有12 个现场参数设置，用户可以按自己的使用习惯“定做”仪表。
● 具备先进的与计算机通讯功能，支持宇电AIBUS 及MODBUS 协议。
AI 系列仪表硬件采用了先进的模块化设计，AI-7xx8 系列多路测试及控制仪表*多允许安装4 个模块，输出、报
警、通讯及其他功能均可按需求选择相应的模块，自由组合。AI-7xx8 系列仪表共由6 部分组成，例如：
AI-7648D71J7 G5 G5 L3 S2 － 24VDC
① ② ③ ④ ⑤ ⑥
这表示一台仪表：①基本功能为AI-7648D71J0 型；②2 路固态继电器驱动电压输出；③2 路固态继电器驱动电压输
出；④2 路报警继电器输出；⑤1 个RS485 通讯接口；⑥仪表供电电源为24VDC 电源。仪表型号中各部分的含义如下：
①表示仪表基本功能
AI-7648D71J3（0.15 级精度4 路测量及控制仪表，8 年免费保修期，可输入4 路电压信号（非隔离））
AI-7548D71J3（0.2 级精度4 路测量及控制仪表，5 年免费保修期，其余功能同7648D71J3）
AI-7348D71J3（0.25 级精度4 路测量及控制仪表，3 年免费保修期，其余功能同7648D71J3）
AI-7248D71J3（0.3 级精度4 路测量及控制仪表，2 年免费保修期，其余功能同7648D71J3）
AI-7648D71J4（0.15 级精度4 路测量及控制仪表，8 年免费保修期，可输入4 路电流信号（隔离型））
AI-7548D71J4（0.2 级精度4 路测量及控制仪表，5 年免费保修期，其余功能同7648D71J4）
AI-7348D71J4（0.25 级精度4 路测量及控制仪表，3 年免费保修期，其余功能同7648D71J4）
AI-7248D71J4（0.3 级精度4 路测量及控制仪表，2 年免费保修期，其余功能同7648D71J4）